1、硅烷由于其极其危险性，整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫；
2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等；
3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统；
4、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m每s。
5、排气的硅烷浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。
