1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质;
2、利用硅烷可以实现最高的纯度、最精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应,从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构,这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。