ØLCV:Check valve for vent 排放单向阀,用于气体排放时保证特气不会倒流进入吹扫氮气面板或钢瓶;
ØCVP:Check valve 单向阀;
ØHPT:High delivery pressure transducer 高压传感器,接在钢瓶出口的后端,调压阀的前端,用来显示钢瓶内气体的压力;
ØLPT:Delivery pressure transducer 输送压力传感器,安装在两级调压阀之后,用来显示调压后的气体输送压力值;
ØVPT:Vent pressure transducer 排放压力传感器,用来显示气体排放管路的压力;
ØREG:First stage regulator 一级调压阀,用来将钢瓶的压力进行第一次调低;
ØREG2:Second stage regulator 二级调压阀,进行第二次调压,将钢瓶压力调低到一个合理安全的传输压力;
ØHPI:High pressure isolation valve 高压隔离阀,用于高压和低压管路的隔离;
ØHPV:High pressure vent valve 高压排放阀,主要用于钢瓶吹扫时,工艺气体的排放和吹扫氮气的排放;
ØPGI:Purge gas isolation valve 吹扫气体隔离阀,用于钢瓶吹扫时,吹扫氮气开闭的控制;
ØLPV:Low pressure vent valve 低压排放阀;
ØLPI:Auto switch valve 自动切换阀,用于左右两个钢瓶的切换;
ØPNBV:Purge gas bleed valve 氮气吹扫不死阀;
ØPHPI:High Pressure N2 valve 高压氮气吹扫阀;
ØMIV:Manual isolation valve 手动隔离阀,安装在面板的出口,用于面板和工艺管路的双隔离;
ØEXV:Expansion valve 扩展阀;
ØGNBV:Vacuum Generator 真空发生器,用来产生真空,当其气动阀门打开时,GN2 流经真空发生器,产生真空,用来抽空工艺面板。