适用于SIH4硅烷，NH3氨气，N20笑气，HCI氯化气等大流量工艺需求的介质。
设备基础配置参数：
l 供气盘面：自动/手切气体切换，自动/手动气体吹扫
l 自动远程切断
l 防爆玻璃观察窗、防爆自锁门、防爆电控箱
l 10-12寸彩色中文人机界面，实现人气分离全自动触摸屏操作
l 泄露报警、负压报警
可选配置：
l 面板加热
l 钢瓶加热
l 电子磅秤
配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
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