1、 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接,不得与公用气源或工艺气源系统相连;
2、 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源;
3、 吹扫气体管线应设置止回阀;
4、 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫;
5、硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀,硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮,至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。